近几年来,单晶硅行业作为节约能源型的行业盛行,我公司为单晶硅行业的企业做配套冲洗用水设备。
单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中最基础性材料,属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。
为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。
单晶硅冲洗用超纯水设备处理工艺
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→CEDI系统→微孔过滤器→用水点。
进水水质要求
TEA(含CO2 ) <25mg/LasCaCO3
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PH 5-9
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硬度 < 0.1 mg/LasCaCO3
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硅 <0.5mg/L
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TOC <0.5 mg/L
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余氯 <0.05mg/L
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Fe,Mn,H2S <0.01 mg/L
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进水压 30-100PSI
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电导率 <40<40μs/cm
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超纯水设备技术参数
型号
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流量
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产水电导率
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EDI堆尺寸(mm)
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电压
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电流
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LTLDI50
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50L/h
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5-15MΩ
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270×600×180
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80V
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1.8A
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LTLDI500
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500L/h
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5-15MΩ
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260×600×280
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120V
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2.0A
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LTLD1000
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1000L/h
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5-15MΩ
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260×600×420
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200V
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5.0A
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LTLD2000
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2000L/h
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5-15MΩ
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360×600×440
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250V
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6.0A
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LTLD6000
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6000L/h
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5-15MΩ
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460×600×680
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400V
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10.0A
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系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
执行标准:严格执行现行的各种水处理标准,不断的在工艺设计和材料选择上进行改进,以满足现行的各种标准。