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单晶硅冲洗用超纯水设备处理方案
来源: | 作者:深圳市诚致远环保科技有限公司 | 发布时间: 2016-10-28 | 1796 次浏览 | 分享到:

近几年来,单晶硅行业作为节约能源型的行业盛行,我公司为单晶硅行业的企业做配套冲洗用水设备。

单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中最基础性材料,属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。

单晶硅冲洗用超纯水设备处理方案

为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。

单晶硅冲洗用超纯水设备处理工艺

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→CEDI系统→微孔过滤器→用水点。

进水水质要求

TEA(含CO2 )         <25mg/LasCaCO3

PH            5-9

硬度                        < 0.1 mg/LasCaCO3

硅             <0.5mg/L

TOC                       <0.5 mg/L

余氯          <0.05mg/L

Fe,Mn,H2S       <0.01 mg/L

进水压        30-100PSI

电导率                    <40<40μs/cm


超纯水设备技术参数

型号

流量

产水电导率

EDI堆尺寸(mm)

电压

电流

LTLDI50

50L/h

5-15MΩ

270×600×180

80V

1.8A

LTLDI500

500L/h

5-15MΩ

260×600×280

120V

2.0A

LTLD1000

1000L/h

5-15MΩ

260×600×420

200V

5.0A

LTLD2000

2000L/h

5-15MΩ

360×600×440

250V

6.0A

LTLD6000

6000L/h

5-15MΩ

460×600×680

400V

10.0A

系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

执行标准:严格执行现行的各种水处理标准,不断的在工艺设计和材料选择上进行改进,以满足现行的各种标准。