近几年来,单晶硅行业作为节约能源型的行业盛行,我公司为单晶硅行业的企业做配套冲洗用水设备。
单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中最基础性材料,属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。
为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。
单晶硅冲洗用超纯水设备处理工艺
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→CEDI系统→微孔过滤器→用水点。
进水水质要求
TEA(含CO2 ) <25mg/LasCaCO3 |
PH 5-9 |
硬度 < 0.1 mg/LasCaCO3 |
硅 <0.5mg/L |
TOC <0.5 mg/L |
余氯 <0.05mg/L |
Fe,Mn,H2S <0.01 mg/L |
进水压 30-100PSI |
电导率 <40<40μs/cm |
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超纯水设备技术参数
型号 |
流量 |
产水电导率 |
EDI堆尺寸(mm) |
电压 |
电流 |
LTLDI50 |
50L/h |
5-15MΩ |
270×600×180 |
80V |
1.8A |
LTLDI500 |
500L/h |
5-15MΩ |
260×600×280 |
120V |
2.0A |
LTLD1000 |
1000L/h |
5-15MΩ |
260×600×420 |
200V |
5.0A |
LTLD2000 |
2000L/h |
5-15MΩ |
360×600×440 |
250V |
6.0A |
LTLD6000 |
6000L/h |
5-15MΩ |
460×600×680 |
400V |
10.0A |
系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
执行标准:严格执行现行的各种水处理标准,不断的在工艺设计和材料选择上进行改进,以满足现行的各种标准。